Budada Cerium Oxide iyo Aluminium Oxide: Falanqayn Isbarbardhig oo Dhamaystiran
Mashiinka saxda ah ee warshadaha galaaska iyo indhaha, budada dhalaalintu waa walax muhiim ah oo go'aamisa tayada dusha sare ee ugu dambeysa, dhalaalka, iyo heerka cilladaha.Oxide Cerium (CeO₂)iyo aluminium oksaydh (Al₂O₃) waa labada walxood ee ugu isticmaalka badan ee lagu nadiifiyo, laakiin waxay si weyn ugu kala duwan yihiin qaab-dhismeedka maaddada, habka nadiifinta, adkaanta, hufnaanta, iyo saameynta dusha sare ee kama dambaysta ah. Sidaa darteed, xulashada saxda ah ee budada nadiifinta ma aha oo kaliya inay saameyso hufnaanta farsamaynta laakiin sidoo kale waxay si toos ah u saameysaa wax soo saarka iyo kharashka guud ee badeecada la dhammeeyay. Cerium oksaydh, oo ah walxo dhul naadir ah, waxay leedahay xaalad gaar ah oo Ce³⁺/Ce⁴⁺ ah oo la rogi karo, taasoo u suurtagelinaysa inay soo saarto falgal kiimiko oo yar marka ay la xiriirto silicates galaaska. Lakab falcelin jilicsan oo aad u khafiif ah ayaa ka sameysan dusha sare ee galaaska inta lagu jiro nadiifinta, kaas oo si tartiib ah looga saaro ficilka isku dhafan ee suufka nadiifinta iyo dhaqdhaqaaqa farsamada. Habkan ka saarista isku-dhafka ah ee "kiimikada + farsamada" waxaa loo yaqaan CMP (Kiimikada Nadiifinta Farsamada Kiimikada), waana sababta ugu weyn ee nadiifinta oksaydhka cerium uu u yahay mid dhakhso badan, hufan, oo soo saara cillado dusha sare oo aad u hooseeya. Taas bedelkeeda, alumina waa xoqe farsamo dhaqameed oo leh adkaanta Mohs oo ah 9, oo kaliya ka dambeysa corundum iyo dheeman. Habka nadiifinta wuxuu si buuxda ugu tiirsan yahay geesaha fiiqan, adkaanta, iyo xoogga dibadda ee walxaha, taasoo matalaya shiididda farsamada caadiga ah ee saafiga ah iyada oo aan lahayn lakab kiimiko ah oo jilcinaya. Sidaa darteed, habka ka saarista ayaa ah mid aad u qallafsan, si fududna u keena xoqitaanno yaryar oo qoto dheer, gaar ahaan marka la dhalaalinayo muraayadda hufan.
Marka laga hadlayo adkeysiga walxaha, cerium oxide waxay leedahay adkeysi Mohs ah oo qiyaastii 6 ah, oo u dhow tan galaaska, taasoo ka dhigaysa mid jilicsan marka la taabanayo walxaha hufan oo ku dhawaad ka takhalusaya xoqidda qoto dheer. Alumina, oo leh adkeysi 9 ah, waxay ku habboon tahay agabka adkeysiga sare sida biraha, dhoobada, iyo rinjiyeynta bilowga ah ee safayr. Si kastaba ha ahaatee, marka loo isticmaalo galaaska, cadaadiska waa in la dhimaa si looga fogaado inuu keeno dhammaystir matte ah, xoqid, ama xitaa dildilaacyo yaryar, taasoo horseedaysa hoos u dhac hufnaan ah. Meelaha sare ee heerka indhaha, alumina aad bay uga xasilloon tahay cerium oxide. Marka laga hadlayo cabbirka walxaha, labaduba waxay gaari karaan tiro dhan 0.3-3 μm, laakiin walxaha cerium oxide badanaa waa kuwo wareegsan waxayna leeyihiin qaybin cabbir yar oo walxaha ah, taasoo ka dhigaysa kuwo ku habboon rinjiyeynta wanaagsan; walxaha alumina waxay leeyihiin geeso fiiqan, taasoo ka dhigaysa kuwo ku habboon jarista degdega ah. Marka laga eego joojinta,oksaydhka serium, ka dib marka la beddelo dusha sare, waxay ilaalisaa kala firdhis heer sare ah oo ku jirta slurries-ka dhalaalinta, uma nugul isku-darka ama kala-soocidda, waana mid aad ugu habboon habaynta joogtada ah ee muddada dheer. Dhanka kale, Alumina waxay leedahay cufnaan sare waxayna si dhakhso leh u degtaa, iyadoo u baahan walaaq joogto ah, taasoo ka dhigaysa mid aan ku habboonayn khadadka wax soo saarka ee otomaatiga ah.
Marka la barbardhigo waxtarkooda dhalaalinta, cerium oxide, oo ay ugu wacan tahay joogitaanka lakabka falcelinta kiimikada, badanaa waxay gaartaa heer sare oo ka saarista walxaha (MRR) iyadoo la ilaalinayo tayada dusha sare ee wanaagsan, taasoo muujinaysa xasillooni gaar ahaan habaynta joogtada ah ee muraayadda aagga weyn, muraayadaha indhaha, iyo taarikada daboolka taleefanka gacanta. Iyadoo alumina ay leedahay adkeysi sare iyo aragti ahaan xawaare ka saarista degdega ah, waxay aad ugu tiirsan tahay xoogga dibadda iyo xagasha jarista, waxay leedahay daaqad geedi socod oo cidhiidhi ah, waxayna u nugul tahay xoqidda xitaa cadaadis yar oo sarreeya. Sidaa darteed, wax soo saarka tirada dhabta ah, badanaa way ka xasilloon tahay cerium oxide, taasoo keenta hufnaan hoose. Farqiga tayada dusha sare ayaa xitaa ka sii muuqda.Xabagta Ceriumwaxay gaari kartaa dusha sare ee heerka indhaha iyadoo leh Ra < 1 nm, hufnaan sare, iyo dhammaystir aan matte ahayn, taasoo ka dhigaysa doorashada ugu wanaagsan ee muraayadaha indhaha, qaybaha indhaha ee laysarka, daaqadaha safayr, iyo galaaska heerka sare ah. Alumina, oo ay ugu wacan tahay shiididda farsamada saafiga ah, badanaa waxay soo saartaa heerar kala duwan oo xoqan, lakabyo cadaadis ah, iyo dhaawac dusha sare ah, taasoo keenta hoos u dhac weyn oo ku yimaada hufnaanta. Hawsha sida nadiifinta ugu dambeysa ee galaaska taleefanka gacanta, dhalaalinta fiican ee kamaradaha, iyo dhalaalinta daaqadaha indhaha ee semiconductor-ka, alumina kuma filna waxaana loo isticmaali karaa oo keliya nadiifinta bilowga ah ee qallafsan.
Marka laga eego aragtida iswaafajinta habka, cerium oxide waa mid la qabsan kara, oo aan xasaasiyad ku lahayn xuduudaha sida pH, suufka dhalaalinta, cadaadiska, iyo xawaaraha, waana mid si fudud loo hagaajin karo. Dhanka kale, Alumina aad bay ugu nugul tahay cadaadiska iyo xawaaraha wareegga; xakameyn la'aan yar waxay keeni kartaa xoqid ama dusha sare oo aan sinnayn, taasoo cidhiidhi gelinaysa daaqadda farsamaynta. Intaa waxaa dheer, alumina si dhakhso ah ayay u degtaa, taasoo horseedaysa kharashyo dayactir oo sarreeya iyo dhib badan oo ku yimaada maaraynta habka. Marka la eego kharashka, alumina runtii waa ka jaban tahay halbeeg kasta, halka cerium oxide, oo ah walxo naadir ah oo dhulka ah, ay xoogaa qaali tahay. Si kastaba ha ahaatee, warshadaha farsamaynta galaaska waxay si aad ah diiradda u saaraan wadarta guud ee kharashka lahaanshaha (TCO), tusaale ahaan, hufnaanta + wax soo saarka + waxyaabaha la isticmaalo + shaqada + khasaaraha dib-u-shaqaynta. Gunaanadka kama dambaysta ah badanaa waa: halka alumina ay ka jaban tahay, heerarka xoqidda iyo dib-u-shaqaynta ayaa sarreeya; halka cerium oxide uu ka qaalisan yahay halbeeg kasta, waxay bixisaa hufnaan sare, cillado hoose, iyo wax soo saar sare, taasoo keenta kharash guud oo aad u hooseeya. Sidaa darteed, warshadaha indhaha, elektaroonigga macaamiisha, iyo muraayadaha dhismaha ayaa ku dhawaad guud ahaan u doorta cerium oxide inay tahay budada dhalaalinta aasaasiga ah.
Marka laga hadlayo baaxadda codsiga,oksaydhka seriumWaxay leedahay faa'iido buuxda ku dhawaad dhammaan goobaha u baahan hufnaan, isku mid ah, iyo dhalaal heer-muuqaal ah, oo ay ku jiraan muraayadda daboolka taleefanka gacanta, muraayadaha kamaradaha, kamaradaha baabuurta, qaybaha indhaha ee laysarka, muraayadaha mikroskoobka, galaaska quartz, daaqadaha safayr, iyo dhalaalinta wanaagsan ee galaaska dhismaha. Taas bedelkeeda, alumina waxay ku habboon tahay biraha aan muuqan, dhoobada, birta aan miridhku lahayn, caaryada, muraayadaha birta, iyo shiididda safayr-ka, halkaas oo loo baahan yahay xoog goyn sare. Marka la soo koobo: dooro oksaydhka cerium si aad u hesho agab hufan, iyo alumina si aad u hesho agab adag; dooro oksaydhka cerium si aad u hesho tayada dusha sare, iyo alumina si aad u hesho xawaaraha goynta.
Guud ahaan, cerium oxide, oo leh habka CMP ee gaarka ah, daaqadda habka deggan, hufnaan sare, iyo dusha sare ee tayo sare leh, ayaa noqotay walxo aan la beddeli karin oo lagu nadiifiyo warshadaha galaaska iyo indhaha. Iyadoo alumina ay tahay mid kharash yar oo adag, haddana waxay ku habboon tahay in lagu nadiifiyo agabka adag ee aan hufanayn sida biraha iyo dhoobada. Shirkadaha u baahan mugga weyn, khadadka wax soo saarka ee deggan iyo heerarka cilladaha hooseeya, alumina kuma filna shuruudaha nadiifinta ugu dambeeya ee galaaska hufan, halka cerium oxide uu yahay xalka ugu fiican ee dhammaystirka dusha sare ee wax soo saarka.